Silikon karbid yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish, quyosh fotovoltaikini qayta ishlash va nozik kristall sanoatida keng qo'llaniladigan muhim muhandislik materialidir. Zo'r qattiqligi, aşınma qarshiligi va termal barqarorligi tufayliqora kremniy karbidva yashil kremniy karbid odatda silliqlash va polishing ilovalarida qo'llaniladi.
Silikon karbidning asosiy abraziv usullari
Hozirgi vaqtda kremniy karbidni polishing usullari asosan mexanik jilo, kimyoviy mexanik abraziv (CMP), elektrokimyoviy abraziv (ECMP), magnetoreologik jilo,-katalizator yordamida polishing, tribokimyoviy polishing (TCP) va plazma{1}}yordamli polishing (PAP) ni o'z ichiga oladi.
Ushbu texnologiyalar orasida CMP atom{0}}darajasida sirtni jilolashga erishish uchun eng samarali jarayon hisoblanadi. U yarimo'tkazgichlarni qayta ishlashda keng qo'llaniladi, chunki u bir vaqtning o'zida ham mahalliy, ham global planarizatsiyani amalga oshirishi mumkin. Yuqori-aniqlikdagi polishingda yashil kremniy karbid ko'pincha keskin kesish va barqaror sayqallash effekti tufayli tanlanadi.
CMP ning afzalliklari va muammolari
CMP ning abraziv samaradorligi asosan material yuzasida kimyoviy reaktsiya tezligiga bog'liq. Tadqiqotlar shuni ko'rsatadiki, aylanish tezligi va abraziv bosimi abraziv tezligiga sezilarli ta'sir ko'rsatadi, harorat va abraziv suyuqlik pH qiymati esa nisbatan kam ta'sir qiladi.
Aylanish tezligini oshirish polishing samaradorligini samarali oshirishi mumkin. Yuqori bosim olib tashlash tezligini oshirishi mumkin bo'lsa-da, u polishing padiga zarar etkazishi va ishlab chiqarish xarajatlarini oshirishi mumkin. Ko'pgina sanoat silliqlash dasturlarida qora kremniy karbid yaxshi qattiqligi va iqtisodiy narxi tufayli afzallik beriladi.
Hozirgi vaqtda kremniy karbidli polishing hali ham past materiallarni olib tashlash tezligi va yuqori ishlov berish narxi kabi muammolarga duch kelmoqda. Ba'zi ilg'or abraziv texnologiyalar asosan murakkab uskunalar talablari va qiyin operatsiya jarayonlari tufayli laboratoriya tadqiqotlari bilan cheklanadi.
Silikon karbidning qo'llanilishi
Silikon karbid birinchi marta 1905 yilda meteoritlarda topilgan va hozirda asosan sun'iy sintez orqali ishlab chiqariladi. Quyosh fotovoltaik materiallari, yarimo'tkazgichlarni qayta ishlash, kvarts kristallarini ishlab chiqarish va piezoelektrik kristall sanoatida keng qo'llaniladi.
Aşındırıcı sanoatda qora kremniy karbid odatda umumiy silliqlash va sirtni qayta ishlash uchun ishlatiladi, yashil kremniy karbid esa qattiq va mo'rt materiallarni nozik parlatish uchun ko'proq mos keladi. Ilg'or ishlab chiqarish tarmoqlarining jadal rivojlanishi bilan kremniy karbid polishing texnologiyasiga bo'lgan talab o'sishda davom etadi.
